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太阳能光伏PECVD镀膜设备

发布日期:2022-06-13 09:40   来源:未知   阅读:

  在使用本设备制作薄膜时要注意3个方面的问题,使用前的调试、制作薄膜的程序和使用完后的归位工作。接下来分3个方面介绍该设备的调试及其操作程序。

  1.设备进入净化间前须清扫,擦干设备内外灰尘、污渍,工艺管、真空管道应按微电子规范进行清洁处理。

  2.设备进入净化间后按要求摆放好,先装电阻炉部分,炉体架装上地脚并调平稳,然后将炉体上架,再装工艺管,装工艺管时注意轻拿轻放,小心不要碰坏石英管。同时装石英管时在石英管下部垫上光滑的塑料布或其他光滑材料,以防划伤石英管。要从炉口放入向后推,千万不能从尾部向前推,以免碰坏石英管的真空密封磨口。如果要清洗石英管时,要反过来进行。两端法兰按水冷法兰、气路法兰顺序装配。

  3.靠拢净化台,调地脚螺钉,高度与炉体架一致,连接好各种控制线,再装配推舟系统。在装配时要特别细心,防止错装漏装密封圈而影响线.摆好真空机组,最好垫上一块橡皮,打上四个地脚螺钉,防止机组振动而造成工艺管损坏。用快卸卡箍管道连接好,再装上压力传感器等。

  6.将设备排风口、排废口、泵组排气口与用户管道连接好,如果用户备有尾气处理装置,必须事先确认与本设备所用气体种类、流量的相容性及安全性。

  8.接地,将各机柜连接起来接入电网的零线。出于使用过程中的安全性考虑,高频电源单独接一根大地线米以上,并放入木炭、水、盐各3公斤。

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